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    成功案例
    • 藍寶石清洗機

    設備名稱:龍門單臂自動超聲波清洗機

    設備型號:FWA-3040TKC
    清洗對象:藍寶石基片
    使用廠家:福建晶安光電

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    詳細參數 Parameter

    龍門單臂自動超聲波清洗機,藍寶石基片清洗機

     清洗工藝:

    工序方法

    清洗方式

    清洗時間

    清洗液

    加熱功率

    過濾

    進水

    排水

    缸蓋

    拋動

    1

    進料

     

     

     

     

     

     

     

     

     

    2

    超聲波清洗

    120KHZ / 2KW

    5~10min

    清洗劑

    6KW

    自動

    手動

    /

    3

    噴淋漂洗

    噴淋

    5~10min

    純水

    6KW

    自動

    手動

     

    4

    浸泡出料

     

     

     

     

     

     

     

     

     

    3.1進料→超聲波漂洗(120Khz)→噴淋漂洗→浸泡出料

    3.2 清洗目的:去除工件加工過程中殘留的油污及粉屑

    3.3清洗介質:水+脫脂劑

    3.4清洗對象:晶圓

    3.5 清洗能力:5-10min可清洗450片晶圓,即18只花籃。

    用戶已將晶園擺放在花籃內,花籃規格為:70×125×70mm,每個花籃裝載25片晶圓。

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