設(shè)備型號(hào):FWA-850TEK
清洗對(duì)象:集成電路芯片
使用廠家:愛(ài)普生精密電子 (蘇州)有限公司
FWA-850TEK型清洗機(jī)采用流行環(huán)保水基清洗工藝,具有如下優(yōu)點(diǎn)。
(1) 設(shè)計(jì)先進(jìn)、合理,充分考慮了環(huán)保和節(jié)能的要求;
(2) 獨(dú)特的鋸齒狀四周溢流,清洗區(qū)液體干凈,無(wú)二次污染;
(3) 采用全封閉式結(jié)構(gòu),運(yùn)行部件設(shè)計(jì)充分考慮防止污染;
(4) 超聲波震動(dòng)板懸空式安裝配合槽底傾斜式設(shè)計(jì),槽體清洗清理方便快捷;
(5) 清洗過(guò)程中超聲波+拋動(dòng)輔助,有效提高清洗效率;
(6) 精巧的等工位移載結(jié)構(gòu)能最大限度地減少輔助運(yùn)行時(shí)間,保正工藝參數(shù)實(shí)施的準(zhǔn)確性;
(7) 多臂機(jī)械手提升、橫移均采用導(dǎo)軌導(dǎo)柱導(dǎo)向,定位準(zhǔn)確、運(yùn)行五平穩(wěn),流暢;
(8) 升降裝置配有防壓機(jī)構(gòu),壓籃故障自動(dòng)停機(jī)并報(bào)警,使用安全無(wú)憂(yōu);
工作機(jī)理:
待清洗工件放入料框內(nèi),由人工將料框放上入料口,多臂機(jī)械臂按PLC指定的程序?qū)⒘峡虬崴偷较鄳?yīng)工位;完成對(duì)工件的清洗、漂洗、漂洗、吸引干燥及真空干燥后、送至卸料臺(tái)出料。多臂機(jī)械手由氣缸橫向驅(qū)動(dòng),直線(xiàn)滑軌導(dǎo)向;上下提升由馬達(dá)驅(qū)動(dòng),直線(xiàn)導(dǎo)軸導(dǎo)向;采用觸摸屏操作系統(tǒng),有手動(dòng)和自動(dòng)切換開(kāi)關(guān)及有關(guān)操作按鈕,能對(duì)整個(gè)運(yùn)行過(guò)程實(shí)行控制。
清洗工藝流程:
序 |
工藝名稱(chēng) |
時(shí)間(min) |
介質(zhì) |
過(guò)濾 方式 |
超聲功率 |
超聲頻率 |
使用 溫度 |
01 |
超聲清洗 |
5-8 |
堿洗劑 |
循環(huán) |
1200W |
40Khz |
60±5℃ |
02 |
超聲清洗 |
5-8 |
純水 |
自循環(huán) |
1200W |
40Khz |
常溫 |
03 |
超聲清洗 |
5-8 |
純水 |
自循環(huán) |
1200W |
40Khz |
常溫 |
04 |
超聲清洗 |
5-8 |
酸洗劑 |
循環(huán) |
1000W |
80Khz |
60±5℃ |
05 |
超聲清洗 |
5-8 |
純水 |
自循環(huán) |
1000W |
80Khz |
常溫 |
06 |
超聲清洗 |
5-8 |
純水 |
自循環(huán) |
1000W |
120Khz |
80±5℃ |
07 |
吸引干燥 |
5-8 |
熱風(fēng) |
循環(huán) |
- |
|
125±5℃ |
08 |
真空干燥 |
5-8 |
真空 |
抽氣 |
- |
- |
80±5℃ |